Eine mobile, automatisierte Halbleiterfertigung, die den Bauteiltransport von einem Schritt zum nächsten ermöglicht, gab es bislang nicht. Mit der Kuka Wafer Handling Solution ändert sich das nun.
Foto: Kuka

Handhabungstechnik

Kuka baut mobilen Roboter für die Halbleiter-Produktion

Mit Wafer Handling Solution hat Kuka die erste Lösung aus einer Hand entwickelt, die Halbleiter-Kassetten automatisiert transportieren und handhaben kann.

Eine mobile, automatisierte Halbleiterfertigung, die den Bauteiltransport von einem Schritt zum nächsten ermöglicht, gab es bislang nicht. Mit der Kuka Wafer Handling Solution ändert sich das nun.

Automatisierte Handhabung von Wafer: Kuka Wafer Handling Solution

Kuka hat mit der Kuka Wafer Handling Solution die nach eigenen Angaben weltweit erste Lösung aus einer Hand entwickelt, die Halbleiter-Kassetten automatisiert transportieren und handhaben kann. Die Applikation besteht aus einem standardisierten Automated Guided Vehicle (AGV) und dem in der Praxis bewährten Leichtbauroboter LBR iiwa. Dazu wurde ein ausgeklügeltes Greifer-System entwickelt. Auch die Software stammt von Kuka.

Robotik-Lösung für die Halbleiterindustrie in Reinraumumgebung

Für die Mobilität sorgt die mobile Plattform KMR 200 CR. Die Plattform verfügt über Mecanum-Räder, die das omnidirektionale Fahren in jede Richtung ermöglichen. Sensoren an der Plattform nehmen die Umgebung in Echtzeit wahr und vermeiden so Kollisionen. Der zur Mensch-Roboter-Kollaboration fähige LBR iiwa ist auf der Plattform verbaut. Die Sensitivität des Roboters ermöglicht es, die sensiblen Wafer-Kassetten sicher und erschütterungsfrei zu handhaben. Die dritte Komponente der Applikation ist ein maßgeschneiderter Greifer. Das Greifer-System ist von Kuka patentiert.

Software steuert mobile Roboterflotte

Bei der Reinraumanwendung für die Wafer-Handhabung stammt sowohl die Hardware als auch die Software von Kuka. Die Wafer-Handling-Softwarelösung fügt sich problemlos in das Manufacturing Execution System der Halbleiterproduzenten ein. Der in der Software integrierte Flottenmanager steuert die Transportaufträge, um so die optimale automatisierte Halbleiterfertigung zu gewährleisten. Alle Lösungen stammen aus einer Hand und sind zertifiziert. Daraus ergeben sich extrem kurze Inbetriebnahmezeiten, was das System zu dem flexibelsten Handling-System auf dem Markt macht.