Piezocontroller E-727 von Physik Instrumente.
Foto: PI Physik Instrumente

Elektrotechnik

Piezocontroller E-727 von Physik Instrumente

Nanopositioniersysteme in der Automatisierungstechnik: Digitaler Piezocontroller mit Ethercat.

Im industriellen Umfeld gibt es immer mehr Anwendungen für hochpräzise, piezobasierte Positioniersysteme; typische Beispiele dafür liefert die Halbleiterfertigung. Als Lösungsanbieter für Antriebstechnik und Positioniersysteme bietet Physik Instrumente (PI) deshalb den Piezocontroller E-727 in einer neuen Variante an.

Digitaler Controller

Der digitale Controller lässt sich jetzt mit allen industriellen Steuerungen von ACS Motion Control über Ethercat betreiben und kann damit als „intelligenter Treiber“ ein-, zwei- oder dreiachsige piezobasierte Nanopositioniersysteme in die Automatisierungsumgebung integrieren, unabhängig davon, ob diese mit kapazitiven, piezoresistiven oder Dehnungssensoren arbeiten.

Ein für den Piezobetrieb optimierter P-I-Regler mit zwei Notchfil-tern ermöglicht eine hohe Regelbandbreite (20 kHz). Intelligente Regelalgorithmen minimieren die Einschwingzeiten, dadurch lassen sich Wiederholgenauigkeiten bis in den Sub-Nanometer-Bereich erreichen. Weitere Merkmale des Digitalcontrollers sind eine Mechanik- und Elektronik-Linearisierung mittels Polynomen 4. Ordnung, ein integrierter Datenrekorder, ein ID-Chip für eine schnelle Inbetriebnahme und Austauschbarkeit der Systemkomponenten sowie eine unterlagerte, programmierbare Driftkompensation. Optional bietet der E-727 eine dynamische digitale Linearisierung. Diese DDL-Funktion senkt Phasenverschiebung und Bahnfehler bei dynamisch-periodischen Anwendungen auf ein nicht wahrnehmbares Maß. Das ist beispielsweise für Scanning-Anwendungen wichtig, bei denen es darum geht, eine bestimmte Position zu identifizieren und präzise wieder anzufahren.

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