Die Antriebseinheit für die Reinraumanwendung in der Halbleiterindustrie besteht aus einer innenverzahnten Edelstahl-Kugeldrehverbindung mit den Maßen 1.230 x 1.091 x 27,5 mm inklusive Montageplatte und Antriebsritzel. Rodriguez liefert diese Baugruppe im Rahmen seiner kundenspezifischen Systemlösungen (Value Added Products) für die spezielle Vakuumanwendung aus einer Hand. Mit Hilfe einer zweilagigen Reinraumverpackung erfüllt die Antriebseinheit die strengen Anforderungen der Halbleiterindustrie.
Kugeldrehverbindung aus härtbarem, korrosionsbeständigem Edelstahl
„Das verwendete Sonderlager ist insofern besonders, als dass es eigentlich etwas zu dünn ist für eine Kugeldrehverbindung. Einerseits ergab sich das aus der filigranen Konstruktion der Maschine, in der die Lagereinheit verbaut ist. Andererseits konnten wir so die vom Kunden vorgegebene Gewichtsbeschränkung einhalten“, erläutert Ulrich Schroth, Geschäftsbereichsleiter Value Added Products bei Rodriguez. „Die Kugeldrehverbindung besteht aus härtbarem, korrosionsbeständigem Edelstahl 1.4034 und verfügt über gehärtete Zahnflanken, die einen erhöhten Schutz vor Verschleiß gewährleisten. Keramische Wälzkörper ermöglichen eine Minimalmengenschmierung mit einem speziellen Vakuumfett. So lässt sich die Lagereinheit problemlos im Ultrahochvakuum verbauen.“
Nicht zuletzt gewährleistet ein kundenspezifisches Lagerspiel, dass die speziellen Anforderungen der Anwendung erfüllt werden.
So bleibt die Antriebseinheit für die Reinraumanwendung sauber
Die kundenspezifische Systemlösung wird in einer zweilagigen Reinraumverpackung geliefert. Das bedeutet, dass Rodriguez eine erste Verpackung im Reinraum anbringt. Im Anschluss erfolgt eine normale zweite Verpackung. Bei Anlieferung wird die oberste/normale Verpackung entfernt und beim Kunden im Reinraum dann die zweite Verpackung. So wird sichergestellt, dass es zu keinerlei Verschmutzung oder Fremdkörpern während des Transportes kommt, die sich später negativ auf die Anwendung auswirken könnten.
Systemlösungen vom Experten
Die kundenspezifischen Systemlösungen von Rodriguez bewähren sich in vielen Anwendungen und Branchen. Sie basieren auf den hochwertigen Wälzlagern und Lineartechnik-Komponenten aus dem großen Sortiment des Unternehmens. Der Schienenführungstisch ist nur ein Beispiel von vielen: So konzipierte Rodriguez im rotativen Bereich eine Systemlösung für einen Fräskopf, der in der holzverarbeitenden Industrie eingesetzt wird. Dabei wurden ein Kreuzrollenlager und zwei Dünnringlager durch ein individuelles Bauteil ersetzt. Durch die Integration einer Hohlwelle als Laufbahn und zweier Außenringe in Flanschausführung sowie eines Außenrings mit Verzahnung konnte ein äußerst kompakter Fräskopf mit Direkt-Drive-Motor entwickelt werden.
